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真空鍍膜機安全及保護設(shè)計
作者:溫州馳誠真空機械有限公司 來源:http://www.hnzdjc.com 更新時間:2015-12-1 23:18:29 點擊次數(shù):
真空鍍膜機安全及保護設(shè)計
安全保護系統(tǒng)對任何儀器設(shè)備都是很重要的。為保證整機設(shè)備和人身安全,對于用戶來說,我們設(shè)計分配了2 級的安全級別,即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數(shù),而操作者只能執(zhí)行程序,查閱程序參數(shù)。
不論是工作在自動工作方式,還是手動維護方式,輸出量的互鎖保護都是非常重要的。為防止誤操作,我們設(shè)計了互鎖電路和程序互鎖的2 級互鎖。條件不充分按錯鍵時,系統(tǒng)給予提示不執(zhí)行錯誤命令。系統(tǒng)中還增添了某些重要參數(shù)的安全區(qū)域報警或警告。通過紅黃綠三色報警燈和訊響器的控制動作,分別實現(xiàn)各種情況的警示。如工藝過程中工藝氣體充氣流量稍低于設(shè)定流量時,給予黃燈訊響警告仍然繼續(xù)工作,壓力恢復(fù)后流量轉(zhuǎn)為正常,綠色指示燈亮。但當(dāng)流量低于設(shè)定的下限時,紅燈點亮報警,停止工藝進程
鍍膜機通過用戶的使用和生產(chǎn),證明整個程序化自動控制系統(tǒng)滿足了用戶的使用要求。控制系統(tǒng)界面清晰友善、編程簡單、操作方便、數(shù)據(jù)查閱迅速、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、工藝重復(fù)性好,光學(xué)減反射膜層的透射率等性能指標完全符合航天高性能GaAs 太陽電池的要求,并為今后提高GaAs 太陽電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺。
盡管如此,電子束蒸發(fā)鍍膜機的發(fā)展在國內(nèi)已有幾十年,技術(shù)雖不斷提高,但比較國外先進技術(shù)還有一定差距,特別是高端領(lǐng)域。本文對電子束蒸發(fā)鍍膜機所應(yīng)用的控制技術(shù)國際上雖然不是很新的技術(shù),但此方面控制系統(tǒng)的應(yīng)用,在國內(nèi)生產(chǎn)的真空應(yīng)用設(shè)備上還很少,且要能長期工作穩(wěn)定可靠,還有很大的發(fā)展空間,這是和國內(nèi)真空行業(yè)在高端真空應(yīng)用設(shè)備上的整體發(fā)展水平相關(guān)的。
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地址:浙江溫州市龍灣區(qū)濱海工業(yè)園區(qū)濱海一路9號
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